強誘電体(Ferroelectric、フェロエレクトリック)は応用としてFeRAM(Ferroelectric
Random Access Memory: 強誘電体メモリ)、MEMS(Micro Electro Mechanical
Systems: メムス)、光学素子、液晶材料等に幅広く研究され、いくつかの製品が実用もしくは実用化されようとしています。
図は豊島製作所マテリアルズシステム事業部のスピンコート用PZTを使用した強誘電体薄膜材料と、1nFの線形キャパシタをヒステリシス計測したP-Eヒステリシス曲線です。線形キャパシタと異なり、強誘電体は非線形の曲線(ヒステリシス)を示します。ラジアントテクノロジー社(Radiant
Technologies)が作製したパッケージング済み強誘電体チップもあり、お客様に供給することがいつでも可能です。
非線形性を有するために強誘電体は特徴的な性質を持ちます。しかし、その非線形性のために通常のLCRメーターなどでは諸特性を十分に、あるいは正しい定義の下で計測することが困難です。
非線形性を有する強誘電体、圧電体(Piezoelectric: ピエゾエレクトリック)、焦電体(Pyroelectric: パイロエレクトリック)を計測するために、ラジアントテクノロジー社は、常に新しい技術を開発してきました。具体的には電界変化に対する強誘電体、圧電体の変位(Displacement)を計測するために、AFM、レーザー変位計からの変位信号を入力するセンサー端子を強誘電体テスターに標準で装備し、これらのピエゾ効果を計測する専用ソフトウェアを開発しました。強誘電体は使用する環境温度により、その能力が変化するため、GPIB端子を通じて恒温槽の温度制御を行うソフトウェアを標準で組み込みました。また、これらの強誘電体を応用したMEMSも研究開発しています。
現在、強誘電性と強磁性を併せ持つBiFeO3(BFO、ビスマス・フェライト)などのマルチフェロイック材料の強誘電体測定のために、ラジアント社はPrecision
Multiferroic testerを開発しました。
世界で初めて市販された強誘電体評価装置RT66A、RT6000から、新しい計測規格・信頼性・使いやすさを模索し続け、グラフィカルでユーザーライクな測定ソフト「Vision」により制御を行うPrecision Testerシリーズを販売しております。
Precision Testerシリーズの他に、強誘電体・圧電体の特性評価のために高電圧インターフェイス (High Voltage Interface: HVI)、高電圧専用テストフィックスチャー (High Voltage Displacement Meter: HVDM)などの各種オプションを取り揃えております。
日本フェロ・テクノロジー(Nippon Ferro Technology: NFT)は、ラジアントテクノロジー社の日本総代理店です。
|

強誘電体と線形キャパシタの比較
PZT薄膜材料は豊島製作所マテリアルズシステム事業部の御好意による
|