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荷重応答電荷計測装置
従来の電圧印加応答式や高速荷重振幅式ではない、正荷重印加による圧電体・強誘電体の電荷応答を計測し、圧電定数d（pC/N）を求める測定装置です。
本装置の特徴
1. バルク（2mm）から薄膜（1μm以下）までの計測が可能
2. 負荷荷重の大きさを制御可能
3. 計測中は電圧印加を行わないため、分極反転を伴いません。
4. 外部変位計測器が不要
5. 荷重位置、発生電荷量、d（pC/N）等の値をCSV形式で自動保存
試料台に試料をセットし、接触電極を兼ねた重り部を試料に接触することで、荷重に対する電荷応答を計測します。
USBで接続した制御PCから専用ソフトウェアで動作制御を行い、得られたデータをCSV形式で保存します。
装置外観
本装置の応用
強誘電体の分極処理が不十分又は未処理の場合、分極方向が1方向に向いていないため、正荷重に応じた電荷の滲み出しが僅かしか起こりません。従来の電圧印加による試料応答を計測する方法では、計測中に分極処理が行われる可能性がありましたが、本装置は電圧印加を行わず試料応答を観察する方法ですので、測定中に試料の分極状態を変化させません。そのため、強誘電体デバイスの分極処理の妥当性を確認することが可能です。
ウェハーサイズにも対応可能です。詳細に関しましては
弊社
までご連絡ください。
装置仕様
装置本体・計測部
印加荷重範囲
100g 〜 700g（標準荷重）
最大・最小荷重はオプション対応可能
計測可能電荷範囲
1pC 〜 999nC
放電時定数
10
5
〜 10
7
sec
最大ドリフト
±0.03 pC/s以下（ウオームアップ20分後）
最大スリューレート
5,000 pC/μs
温度、湿度範囲
0〜50℃、80%RH以下
ユーティリティ
電源
100V、50/60Hz、1.5A
制御PC
OS
Windows XP Service Pack 2以降、
Windows Vista 32bit版
ハードディスク空き容量
1.3GB
メモリ
対応OSが必要とする最低メモリ
ディスプレイ
解像度1024×768以上
必要なソフトウェア
NET Framework 2.0（最新版）
接続端子
USB 2.0
計測結果例
PZT薄膜試料（膜厚1μm）とPZT系バルク試料（膜厚200mm）の計測結果です。
試料の分極方向に応じて電荷応答の正負の向きが入れ替わります。
繰り返し回数はソフトウェアで変更可能です。下図は2回繰り返し結果です。
膜厚1μmのPZT薄膜試料
膜厚200μmのPZT系バルク試料
本装置のデモ計測をご希望でしたら、
弊社
までご連絡ください。
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