TO-18型のトランジスターパッケージヘッドに集積型の薄膜強誘電体フィルムキャパシターのダイを埋め込み、その覆い部分を取り除いた形の製品です。
	強誘電体キャパシターからパッシベーション膜を除去し、上部電極を露出させて導電性カンチレバーで電圧印加が可能となっています。
	お客様のご要望に応じて上部電極の内、何れか2つを選択し、底部からの2つのピンにワイヤーボンディング(導通)が可能です。
	AFMカンチレバーに電流を通す事をせずに、このピンからピエゾ応答信号電圧を印加する事もできるので、大きな電流が要求される時でも導電性カンチレバー経由での無理な印加が避けられます。
	ダイの下部電極上は全面に広がっているので、上部電極を外すと大面積の裸のPZT膜が存在します。これを利用すればナノスケールの分極やPZT粒子上での直接的な圧電測定も可能です。

AFMとラジアント社のテスターの連携でキャパシターの上部電極上から、IV測定、分極ヒステリシスループと同時測定のバタフライ変位信号ループ、微小信号キャパシタンス、微小変位等を測定する事が可能です。

以下の連続画面は、面積が2μmx2μmのキャパシターを使って、一晩かけてヒステリシス・フルループを描かせた時の各状態での分極強度とイメージ画像(位相マップ)の変化の様子を調査した結果です。

本新製品に関するご質問等がございましたら、弊社までご連絡いただければ幸いです。